ブランド： ULVAC 型式： IH-860PSIC-Ⅱ

主な技術仕様： 8インチ以下の標準ウエハに対応。
高温イオン注入では500℃対応の高温静電チャックを搭載。
注入エネルギー範囲：10keV～1200keV。
デュアルプラテン構造により高温／常温の瞬時切替が可能。
高い互換性を持ち、SiCに加えGaN、GaAs、Siにも対応。
機能： イオン注入方式により、B、P、Asなどの元素をドーピングし、材料特性を改質するために使用。