ブランド： ULVAC 型式： CS200

主な技術仕様： 8インチ以下の標準ウエハに対応
ウエハ内均一性：≤±5％
ウエハ間均一性：≤±5％
機能： Al、Ti/TiN、Cu、Ta、W、Cr、Pt、Auなどの金属薄膜の成膜に使用

ブランド： ULVAC 型式： ei-501z

主な技術仕様： 到達真空度：3.0×10⁻⁵ Pa
るつぼ数：6個以上、各るつぼ容量40cc以上
膜厚均一性：±3％（公転時）、±5％（惑星回転時）
チャンバー内最大加熱温度：450℃以上、温度制御精度：±0.1℃
機能： Al、Au、Ti、TiW、Pt、Ni、Mo、Cu、Snなどの薄膜を蒸着可能