装置ブランド： 江蘇芯夢

主な技術仕様： 8インチ以下の標準ウエハーに対応；ソフトウェア
機能：超音波、揺動、循環ろ過、加熱、気泡、スプレー、オーバーフロー、急速排出など。
機能： ウエハー上の金属剥離およびレジスト除去プロセスを実現する装置である。

装置ブランド： 江蘇芯夢

主な技術仕様： 8インチ以下の標準ウエハーに対応；ソフトウェア
機能：循環、ろ過、メガソニック、加熱、気泡、スプレー、オーバーフロー、急速排出など。
機能： 標準RCA洗浄プロセスを実現し、ウエハー表面の有機汚染、粒子汚染、金属汚染および自然酸化膜を順次除去する機能を備える。